接下来几天。
一切都在有条不紊地进行着。
1n光刻机首片晶圆流片成功之后,曹所长和刘工他们几乎把车间当成了家。
困了就靠在椅子上眯一会儿。
醒了就继续盯着屏幕上的数据,眼睛都不敢眨一下。
不是江辰要求他们这么拼,是他们自己停不下来。
用刘工的话说:
“江院士,您别劝我。”
“我现在一闭眼就梦到晶圆上的那些纳米级结构,比做梦娶媳妇还激动。”
曹所长在旁边补了一句:
“他上周刚闹离婚,就是因为天天泡在实验室不回家。”
刘工瞪了他一眼:“曹所长,你能不能别在江院士面前揭我短?”
“我说的是事实。”
“事实也不能在这个时候说!”
江辰在旁边看着两人斗嘴,没忍住笑了一声。
这种氛围,比任何庆功宴都让人踏实。
良率爬坡的速度出乎所有人的预料。
一般来说。
新制程的光刻机从首片流片成功到良率稳定,少说也要折腾好几个月。
asl的7n制程刚出来那会儿,良率惨不忍睹。
一片晶圆上能用的芯片连一半都不到。
工程师们熬了一年多才勉强把良率拉到85以上。
但江辰这台1n光刻机,从一出手就不讲道理。
曹所长拿到第一组良率数据的时候,整个人愣在控制台前面,盯着屏幕上的数字看了足足十几秒。
然后转头问旁边的刘工:“你掐我一下。”
刘工毫不客气地在他骼膊上拧了一把。
“嘶!!!不是做梦?”
曹所长龇牙咧嘴地揉着骼膊,脸上的表情既痛苦又狂喜,
“正常流程不是应该先从六七十开始,然后一点一点往上爬吗?”
刘工在旁边搓着手,兴奋得象个刚拿到新玩具的孩子:
“曹所长,正常流程那是针对正常光刻机的。”
“咱们这台机器,从头到尾就没正常过。”
“你这话怎么听着像骂人?”
“不是骂人,是夸它!”
“您想想,光源,江院士给的方案,功率直接干到了千瓦级,比asl的那套高出好几倍。”
“物镜系统,还是江院士的方案,薄膜粗糙度做到了零点零几纳米。”
“工件台,比亚帝王总那边按江院士的工艺标准重新做了底座,精度又往上提了一个档次。”
“所有子系统都是超标完成的,良率能低吗?”
曹所长听完之后沉默了片刻,然后幽幽地说了一句:
“所以这良率不是我们厉害,是江院士厉害。”
“那当然。”
刘工理直气壮,“咱们就是执行者,真正的设计者是江院士。”
“他给的方案就没有不行的,咱们照着他的方案做,良率自然高。”
“那你说,这良率还能往上提吗?”
“能。”
事实证明,刘工还是保守了。
良率爬坡持续了不到一周。
每一步都在往上跳。
跳得曹所长每天醒来第一件事就是冲到控制室看屏幕,生怕自己错过什么历史性时刻。
到第五天的时候。
曹所长已经在办公室里备好了速效救心丸,说怕自己太激动当场厥过去。
到第六天的时候。
刘工半夜三点把江辰的电话打爆了。
江辰当时正在宿舍睡觉,被手机震醒之后眯着眼接起来,还没开口。
刘工的声音就象炸雷一样从听筒里轰出来,嗓子都劈叉了:
“江院士!!!
“到了!!!百分百!!!我们做到了!!!”
江辰把手机拿远了一点:“什么百分百?”
“良率!!!晶圆良率!!!!!!百分百!!!”
“每一片晶圆上的每一颗芯片都是好的!!!没有一个废品!!!零缺陷!!!全良率!!!”
电话那头传来一阵嘈杂的欢呼声。
夹杂着曹所长喊“我的速效救心丸呢”。
张工喊“快给江院士开视频”。
陈工喊“我的眼镜又掉了”的声音。
江辰沉默了片刻,然后笑了:“挺好。”
刘工在电话那头差点破音:“挺好???江院士!!!良率!!!”
“asl的7n制程良率最高也就85到92!!!”
“它们的5n和3n到现在都还没正式量产,理论良率最多也就95!!!”
“我知道。”
江辰的语气依旧平稳,“辛苦了,明天我去看看。”
挂了电话。
宿舍里陈小胖的呼噜声还在震天响。
李默从上铺探出头,推了推眼镜:“江神,是光刻机那边的消息?”
李默沉默了片刻,然后说了一句:
“我刚才查了一下,这个数字意味着从今往后,全球半导体行业的良