测试那天,林建国在实验室里转了三圈。
那台光刻机蹲在无尘间中央,银白色外壳上缠满传感器线,像爬了藤的老树。他站在玻璃窗外,盯着里头那片硅片,手心全是汗。
孙小梅在调参数。手指拧一下旋钮,看一眼屏幕,再拧一下。额头的汗珠子顺着脸颊淌,淌到下巴,滴在工作服上,洇出一小片深色。
“林组长,光源稳了。”
林建国凑到屏幕前。曲线还在跳,比刚才稳了些。
“再等等。”
等了十分钟。曲线彻底平了。
林建国吸了口气,按下激活键。
机器转起来。嗡嗡的,象一群蜜蜂闷在玻璃罐里。硅片在工件台上缓缓移动,光源一闪一闪,把微小的图案刻上去。
十分钟。
二十分钟。
第三十五分钟,警报突然响了。
“滴——滴——滴——”
孙小梅脸白了:“曝光剂量飘了!正在往上窜!”
林建国扑到屏幕前。那条本该平直的绿线正斜着往上爬,照这个速度,用不了五分钟,整批硅片就得报废。
“怎么回事?”
“不知道!反馈回路可能出问题了!”
林建国脑子空白了两秒。九十纳米,三个月的心血,全都在这台机器里转着。
他扭头看孙小梅。她盯着屏幕,手指悬在急停按钮上,在抖。
“别停。”林建国嗓子里像塞了沙子,“手动介入,给我往下压。”
孙小梅愣了半秒,咬牙把手收回来,开始拧那些平时根本不动的手动旋钮。她拧一下,看一眼屏幕,再拧一下。绿线还在爬,但爬得慢了。
林建国盯着墙上的倒计时。还有十六分钟。
“继续压。”
“压不动了!到底了!”
林建国冲过去,站在她身后:“把阻尼关了,强拧!”
孙小梅手一顿。关了阻尼,拧过头就是短路。
她没说话,伸手柄阻尼开关拨上去,按住那个旋钮,一点一点往过拧。
绿线停了。
停在临界值上,轻轻发颤,就是不往上走了。
林建国屏住呼吸。
一分钟。
两分钟。
五分钟。
机器嗡地一声,停了。
孙小梅的手还按在旋钮上,整个骼膊都在抖。她慢慢松开,退后一步,靠在操作台上,大口喘气。
林建国没动。他看着屏幕上那根终于落下来的绿线,喉结滚了一下。
“去取片。”
孙小梅撑着站起来,走进无尘间。她把硅片取出来,放到显微镜底下,凑上去看。
一动不动。
林建国在外头等得受不了,推门进去。
“怎么样?”
孙小梅抬起头,脸上的表情说不清是哭还是笑。
“成了。”
林建国把她拨开,自己凑到显微镜前。
镜头里,那些线条整整齐齐趴着,宽窄一致,边缘光滑。九十纳米,真的刻出来了。
他直起身,看着那台机器,看着那片硅片,看着孙小梅那张糊了汗的脸。
“去喊院长。”
何雨柱到的时候,实验室里已经挤满了人。
马跃进蹲在显微镜前看了半天,站起来冲他点点头。周国强在旁边翻数据,边翻边念叨。几个年轻人挤在后头,伸长了脖子往里看。
林建国把那片硅片递过来。
“院长,您看看。”
何雨柱接过来,对着灯眯着眼看了一会儿。那片东西小小的,方方正正,边缘切得整齐。上头那些纹路,肉眼根本看不见。
他没提指标,也没说性能。只是突然笑了一下,声音有点哑:“当年我在后厨切菜,手腕子切肿了,就想,啥时候能不用人切,机器‘咔嚓’一下就完事。”
他把硅片轻轻放回林建国手心,拍了拍他的手背。
“现在这东西,比切菜精细一万倍。这是替咱们国家,切开了最硬的那块骨头。”
屋里安静了几秒。
林建国攥着那片硅片,喉结又滚了一下。他没说话,只是把那片东西举起来,对着灯又看了看。
孙小梅在旁边小声说:“院长,咱们给它起个名吧。”
何雨柱想了想。
“星河一号。”
有人开始鼓掌。先是稀稀拉拉的,后来越来越响,把整个实验室震得嗡嗡的。
何雨柱站在那儿,看着那些年轻的脸,看着那台光刻机,看着那片被举得老高的硅片。
他没说话。
消息传得比预想快。
第三天,大领导的批示就下来了。一张纸,就两行字:“此事甚好。望再接再厉,早日做出实用芯片。所需支持,随时报来。”
何雨柱把那张纸看了两遍,折起来,放进抽屉里。
钱所长的电话也来了。
“小何,听说你们搞出芯片了?”
何雨柱握着话筒:“刚出来,还得调。”
钱所长在那头笑了:“调