攻关小组在第三个月撞上了南墙。
何雨柱站在无尘车间外面,隔着玻璃往里看。那台银白色的机器外壳上贴着“45n实验样机”的标签,红字蹭掉了一个角。他没进去,就站在那儿,能感觉到里头的气压很低。几个技术员蹲在机器前头,没人说话,只有机器散热风扇嗡嗡转。
周厂长攥着测试报告出来,报告纸被他手心的汗洇湿了一角。他没递过来,先叹了口气,声音压在嗓子眼里。
“何处长,前六次都废了。”
何雨柱接过报告,翻到第六次测试那一页。曝光均匀性,偏差百分之十五。线宽,四十五纳米正负五纳米。合格率,不到百分之三十。他把报告合上,没说话。
“镜头热变形,曝光精度不够。线宽控制不住,有的宽,有的窄,短路、断路,一大堆毛病。”周厂长说着,用手比划了一下,“跑起来就热,一热就歪。”
何雨柱把报告还给他。“钱所长的材料呢?”
周厂长翻到另一页,手指点了点上面的数据,嘴唇动了动,没立刻接话。“新材料透光率好了两成,可它……”他停顿了一下,象是在斟酌词句,“一开大功率就膨胀。功率小了,曝光时间又太长,一片硅片得晒半天,效率还不如老机器。”
何雨柱没接话。他推开车间门,走进去。机器还在嗡嗡响,指示灯一闪一闪的。他蹲下来,伸手摸了摸镜头座旁边的外壳,烫的,手心粘贴去能感觉到热量往外渗。
中科院微电子所的王研究员蹲在操作台前头,手里拿着个本子,一边看一边记。他看见何雨柱,站起来,摘下老花镜。
“何处长,问题不在材料。镜头热变形是结构的事。散热不均匀,一边热一边凉,镜头就歪了。”
何雨柱站起来。“能改吗?”
王研究员没直接回答。他把老花镜戴上,又摘下,用衣角擦了擦镜片。“改散热结构,加冷却水道,让冷却液均匀流过镜头四周。温度稳了,变形就小了。”
何雨柱转过身,看着周厂长。“改。需要多久?”
周厂长想了想,又看了看王研究员。“两周。重新设计冷却水道,加工零件,安装调试。”
何雨柱点点头。“改。改完了再试。”
第七次试机安排在两周后的一个下午。
何雨柱又去了上海。车间里站满了人,上海无线电厂的技术员、中科院微电子所的研究员、钱致远材料所派来的年轻人,把无尘车间挤得满满当当。空调开得很足,但何雨柱还是觉得闷。他站在人群后头,能看见那台机器上贴着的“45n实验样机”标签,红字已经彻底模糊了。
周厂长站在操作台前头,手放在激活按钮上,没按。他回头看了何雨柱一眼,又转回去,盯着屏幕上那几行还在跳动的温度数据。等了十几秒,温度稳住了。
“各处温度正常,正负零点五度。”操作员报数。
周厂长深吸一口气,按下按钮。
机器激活了。光源亮起来,刺得人睁不开眼。镜头旋转,工件台移动,硅片在曝光灯下慢慢移动。车间里很安静,只有机器嗡嗡响。何雨柱盯着仪表盘上的数字,压力、温度、真空度,都在正常范围。但他注意到周厂长的手一直没离开那个红色的紧急停止按钮,手指搁在上头,没按下去。
三十分钟。四十分钟。五十分钟。
机器停了。
技术员把硅片取出来,送到显微镜下。王研究员凑过去,看了很久,一动不动。车间里没人说话,有人咽了口唾沫,声音很响。
周厂长忍不住了。“老王?”
王研究员没回头,又看了十几秒,才直起腰。他把老花镜摘下来,没说话,先呼出一口气。
“线宽,四十五纳米,正负零点五。均匀性,偏差百分之三。”
他顿了顿,把老花镜重新戴上,又看了一眼显微镜,才补了一句。
“合格率,百分之九十五。”
车间里安静了一秒。不是那种死寂,是那种憋了很久的、不敢相信的安静。然后角落里有人笑了一声,很低,像松了口气。接着有人拍了一下大腿,有人蹲下去,有人把本子合上,呼出一口气。
周厂长站在操作台前头,手指还按在那个紧急停止按钮上,没松开,指节发白。他愣了两秒,把手收回来,在裤子上蹭了蹭手心的汗。
“成了。”他说。
声音不大,但车间里每个人都听见了。
何雨柱站在人群后头,没动。他看着那些技术员蹲在地上抱着头,看着王研究员摘下老花镜又戴上,看着周厂长站在操作台前头一动不动。他没说话,转身走出车间。
外头的天快黑了,路灯刚亮,昏黄的光照着厂区的水泥路。他站在门口,从口袋里摸出烟,点上,吸了一口。烟雾在风里散得很快。
晚上,何雨柱住在厂招待所。他坐在床上,把那份名单从系统空间里拿出来,翻到“光刻机”那一页,在“45纳米”。
写完了,把名单放回去,锁好。
第二天一早,何雨柱去了钱致远的