图形转移缺陷，占比百分之四十二，这与光刻胶和掩模版有关；第二，薄膜均匀性问题，占比百分之三十三，与沉积设备的工艺窗口太窄有关；第三……”
他停顿了一下，放大了第三类缺陷的显微图象：“随机性缺陷，占比百分之二十五。表现为随机的短路、开路、参数漂移，没有明显规律。我们怀疑与洁净室环境有关，特别是悬浮粒子。”
“悬浮粒子不是有监控吗？”李明哲问。
“有，而且数据都在标准范围内。”。也就是说，我们可能有一批‘看不见的杀手’在产线里游荡，而监测系统却显示一切正常。”
这就象在浓雾中作战，敌人看得见你，你却看不见敌人。
“解决方案？”陈醒言简意赅。
“三个方向。”张京京显然已经深入思考过，“第一，升级监测系统，采购更高精度的粒子计数器，但这需要进口，时间来不及。第二，改造洁净室的空气流场设计，但那是厂房基建层面的大工程，至少三个月。第三……”
他看向视频画面中的林薇：“林总上周提出了一个设想：用计算流体力学仿真，重建整个洁净室的微观流场，找出粒子可能聚集的‘死角’，然后针对性地增加局部净化设备。”
所有人的目光投向林薇。
“这个方案理论上可行，但需要超算资源和精细的边界条件。”林薇调出她初步的仿真模型，“洁净室不是静止的，人员的走动、设备的散热、机械臂的运动都会扰动空气流场。我们需要实时监测这些扰动源，输入模型，动态计算粒子分布。这相当于给整个洁净室做一个‘ct扫描’，而且是动态的。”
“需要多少算力？”陈醒问。
“如果用‘小芯’平台现有的工业仿真模块，单次全尺寸仿真需要七十二小时，但良率攻坚等不了这么久。”林薇报出数据，“我们需要将仿真速度提升两个数量级，这要么需要更强的算力，要么需要更优的算法。”
赵静的声音突然插入，她一直在旁听，此刻才开口：“‘小芯’的制造分析模块可以升级。我们最近在医疗影象识别上积累的神经网络模型，可以迁移到流场仿真中。传统cfd计算是基于物理方程离散求解，速度慢；但如果我们用深度学习，训练一个‘流场预测网络’，输入边界条件，直接输出粒子分布预测，速度可以提升一千倍以上。”
“但需要训练数据。”林薇指出关键。
“我们可以用高精度监测设备先采集一个洁净室的完整数据作为种子。”。采集一周数据，足够训练初始模型。”
倒计时数字跳动：128天 06小时 52分钟。
“这个方案需要多长时间部署？”陈醒问。
林薇和赵静快速估算：“设备借用和安装，三天。数据采集，七天。模型训练和验证，五天。总共十五天。”
“太长了。”陈醒摇头，“十五天，按现在的流片节奏，我们会浪费至少三轮实验机会。而三轮实验，可能就意味着良率提升几个百分点的机会。”
他站起身，走到环形屏幕前，看着那个鲜红的倒计时。
“我们没有十五天可以等。但我们也需要更好的监测手段。”陈醒转过身，眼神扫过每个人，“所以，我们并行：第一，赵静立即联系华科院，今天就开始设备借用流程，数据采集明天激活；第二，林薇在现有监测数据的基础上，先用简化的流场模型做初步分析，哪怕精度不够，也要先找出最可疑的局域；第三，京京，你们产线团队不能等，从今天开始，在每一片晶圆进入关键工序前，增加一道‘预检测’，用现有的检测设备做极限伶敏度测试，虽然会降低产能，但能提前筛掉一部分问题晶圆。”
“这会降低产能百分之三十以上。”张京京提醒。
“但我们首先要保证的是实验数据的质量，不是产能。”陈醒果断道，“现在不是量产阶段，是攻坚阶段。每一片晶圆都是宝贵的数据源，如果数据被污染，我们就是在迷雾中乱撞。”
他停顿了一下，声音加重：“从今天起，14n良率攻坚项目进入‘战时状态’。所有资源优先保障，所有流程可以特事特办，所有团队必须二十四小时轮班。。”
命令下达，会议室里的气氛骤然绷紧。
倒计时数字在屏幕上无情跳动：128天 06小时 37分钟。
就在这时，周明的加密通信器震动。他看了一眼，脸色微变。
“陈总，安全部门通报：中国台湾省‘永续科技基金会’今天上午向周振华教授发出了正式律师函，指控他‘违反保密协议，泄露基金会资助的研究成果’，要求他在七天内返回中国台湾省应诉，否则将激活跨国法律程序。”
“周教授什么反应？”陈醒问。
“他很恐慌。吴工正在安抚他。”周明快速汇报，“但更关键的是，律师函的副本抄送给了中国台湾省科技部、调查局，以及……几家媒体。这显然是施压，要逼周教授回去，或者至少让他闭嘴。”
“我们不能让他回去。”李明哲立刻说，“一